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epitaxial growth; epitaxy; epitaxis | epitaktisches Wachstum {m}; Epitaxie {f} (Aufwachsen von Kristallen auf kristallinem Substrat) [min.] [electr.] | |
molecular beam expitaxy (vapour deposition) | Molekularstrahlepitaxie {f} (Gasphasenabscheidung) |