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epitaktisches Wachstum {m}; Epitaxie {f} (Aufwachsen von Kristallen auf kristallinem Substrat) [min.] [electr.] | epitaxial growth; epitaxy; epitaxis | |
Molekularstrahlepitaxie {f} (Gasphasenabscheidung) | molecular beam expitaxy (vapour deposition) |