 German |
 English |
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|---|---|---|
| Gasphasenabscheidung {f} [chem.] [techn.] | vapour deposition [Br.]; vapor deposition [Am.] | |
| chemische Gasphasenabscheidung {f} | chemical vapour/vapor deposition [Br.] | |
| physikalische Dampfphasenabscheidung {f} [techn.] [phys.] | physical vapour/vapor deposition |